MEMS硅麦传感器领跑电子雾化器革新,替代传统ECM成新趋势
在科技飞速发展的大潮中,MEMS硅麦传感器正以引领者的姿态,革新电子雾化器行业,成为新时代的必然趋势。微机电系统(MEMS)的革命性力量,MEMS,这个集机械与电子于一体的微小装置,通过在硅晶圆上集成微传感器、微执行器等元件,实现了机械加工与半导体工艺的无缝对接。
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